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    2. 微观装置的制造及其处理技术
      • 一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法与流程
        本发明涉及纳米材料,尤其涉及一种金属纳米颗粒阵列的大面积制备及柔性转移方法。在纳米,纳米颗粒因其独特的电学和光学性质而得到广泛关注,尤其是大面积均匀有序的纳米颗粒阵列结构,在等离子体研究、生物传感及电化学储能方面具有重要的研究意义。例如,在表面增强拉曼散射研究方面,灵敏高效...
      • 氮化铝基板及III族氮化物层叠体的制作方法
        本申请是下述申请的分案申请:发明名称:氮化铝基板及iii族氮化物层叠体国际申请日:2013年9月4日国际申请号:pct/jp2013/073806国家申请号:201380041307.x本发明涉及一种新型的氮化铝基板。具体而言,涉及一种具有氮化铝单晶层的新型的氮化铝基板,所述氮化铝单晶层具有特定的...
      • 曲面纳米结构的制备方法与流程
        本发明涉及纳米加工,特别是涉及一种曲面纳米结构的制备方法。纳米结构能够应用于生物探测器、太阳能器件和光学器件等领域中。为了提高器件或者材料的功能,传统的二维垂直刻蚀已经不能满足需求,具有三维曲面纳米结构的需求量很大。目前三维纳米结构的制备方法主要有两种:多次套刻和灰度曝光。多次套刻...
      • 一种嵌入多晶硅电阻的双面自对准刻蚀硅悬臂梁阵列热电变换器的制作方法
        悬臂梁微机械结构是微电子机械系统(mems)中广泛使用的结构,本发明属于悬臂梁微机械系统与微电子新工艺有机结合的研究领域。利用全自对准的集成电路工艺制作硅悬臂梁的同时,在悬臂梁表面制作嵌入式多晶硅应力感应测量电阻。即把半导体自对准刻蚀技术与体硅微机械结构设计相结合研究新型热电转换器。目的是对传统型...
      • 一种柔性水下压力传感器及其制备方法与流程
        本发明属于压力测量,具体涉及一种柔性水下压力传感器及其制备方法。在水下探测活动中,水声技术是对水下目标进行探测、定位、跟踪、识别的主要手段,是水下活动的眼睛与耳朵,应用较为广泛。水声传感器能拾取详细的流场与声场信息进行处理分析并做出判断,确定目标的存在、状态和参数等。高性能的柔性压...
      • MEMS器件的制作方法
        本公开涉及半导体,更具体地,涉及一种mems器件。随着微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,mems)技术的发展,利用mems技术制造的加速度传感器、陀螺仪、角速度传感器等精度较高的器件已经广泛地应用到了汽车领域和消费电子的领域中。其中,例如加速...
      • 一种MEMS结构的制作方法
        本实用新型涉及微电子领域,更具体地,涉及mems结构及其制造方法。mems器件是在微电子技术基础上发展起来的采用微加工工艺制作的微电子机械器件,已经广泛地用作传感器和执行器。例如,mems器件可以是压力传感器、加速度计、陀螺仪、硅电容麦克风。压力传感器例如包括组装在一起的传感器芯片和电路芯...
      • 富集器芯片结构的制作方法
        本实用新型属于微电子机械系统领域,特别是涉及一种富集器芯片结构。富集是一种重要的分析技术。富集器是气体分析仪器(如气相色谱仪、离子迁移谱、质谱仪)中的重要部件,常设置于仪器的前端,其主要功能是大量吸附被探测的目标气体组分,即进行富集,然后使目标气体组分在极短的时间内脱附,此时目标气体组分浓...
      • 一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法与流程
        本发明属于硅微机械传感,特别是涉及一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法。随着mems技术的迅猛发展,基于mems微机械加工技术制作的红外探测器以其尺寸小、价格低等优势被广泛应用于热电堆红外探测器现已广泛应用于非接触测温、气体传感、安保、卫星姿态控制、红外成像等领域。热堆红外探测器相比...
      • 电热薄膜层结构及制备方法与流程
        本发明涉及晶圆级物理气相沉积(pvd)电热薄膜沉积,特别是涉及一种电热薄膜层结构及制备方法。目前,在传统ic芯片的应用中,一般需要避免器件结构出现热累积,解决器件的散热问题。然而,在mems器件的一些应用中,反而需要引入发热结构来实现对器件中一些微观结构的加热。此类发热结构一般使用...
      • 一种MEMS红外探测器三维封装结构及其制作方法与流程
        本发明属于封装,具体涉及一种mems红外探测器的封装结构及其制作方法。近年来,微机电系统(mems)红外探测器,包括热电堆、热辐射测量计,热释电探测器和谐振探测器等,由于其体积小,分辨率高,低成本和cmos兼容工艺在军事和民用领域有着广泛的应用前景。对于mems红外探测器,相对落后...
      • MEMS结构、MEMS结构的制作方法及胎压传感器与流程
        本发明涉及微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,mems)领域,具体涉及一种mems结构、mems结构的制作方法及胎压传感器。mems技术是在半导体技术上发展起来的一项高新技术,可用于制造多种传感器,与传统的传感器相比,mems传感器可实现批量制造,具有...
      • 一种利用支撑层的微纳结构成形制造方法与流程
        本发明涉及微纳结构成形,特别是涉及一种利用支撑层的微纳结构成形制造方法。近年来,微机电系统在航空航天、环境监控、生物医学等各个领域都有着广泛的应用。微机电系统的内部结构一般在微米级至纳米级,包括大深径比微孔等各种复杂形状微纳结构。玻璃材料具有较高折射率、高抗变形性、低膨胀、高成像质...
      • 一种MEMS圆片级真空封装方法与流程
        本发明涉及mems真空封装,具体是一种mems圆片级真空封装方法。微机电系统(micro-electromechanicalsystems,mems)是在微电子技术基础上发展而来,融合了光刻、刻蚀、成膜、硅微加工等技术制作的高科技电子机械产品,因其体积小、功耗低、集成度好等优势而成...
      • 一种真空压力成型制备大面积、高深宽比的柔性微纳功能结构的方法及装置与流程
        所属:本发明公开了一种真空压力成型制备大面积、高深宽比的mems工艺制备方法及装置。属于微纳加工领域。技术背景:传统纳米压印技术主要有三种:热塑纳米压印技术、紫外固化压印技术和微接触纳米压印技术。纳米压印技术大都是不连续的生产工艺过程,难以进行大规模和大面积的生产。为了克服这些难题,滚轴式...
      • 谐振式差压传感器及其制备方法与流程
        本发明涉及mems微传感器,尤其涉及一种谐振式差压传感器及其制备方法。谐振式差压传感器是准数字输出,具有精度高、可靠性好、抗干扰能力强等优势,能获得更好的精度和稳定性,广泛应用于航空航天、工业控制、冶金电力、石油化工、医疗电子、汽车电子等各个领域。谐振式差压传感器的结构中一般都有一...
      • 一种直立少层石墨烯-金属纳米粒子复合催化电极的制作方法
        本发明属于电化学领域,尤其涉及一种具有催化活性的直立少层石墨烯-金属纳米粒子复合催化电极。自2003年直立少层石墨烯被成功制备以来,这种明星材料因其特殊的结构,易于工业化生产和卓越的性能收到人们的关注。这种无需粘结剂直接生长于衬底表面的材料,具有巨大的比表面积和微观机械强度。根据需要,仅需...
      • 一种MEMS封装过程中MEMS晶元的键合方法与流程
        本发明属于半导体,具体涉及一种mems封装过程中mems晶元的键合方法。mems(microelectromechanicalsystems),即微机电系统,是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。基于mems技术制...
      • 一种结构色材料及其制备方法与流程
        本发明属于纳米光学,涉及一种结构色材料及其制备方法。随着纳米科学的发展,各种功能性纳米材料层出不穷,纳米光学晶体以其特殊的光学性质在众多纳米材料中占有很高的地位。传统的纳米光学晶体多采用对一种或多种纳米结构单元的有序排布的方式来实现。这种特殊的结构使得传统的纳米光学晶体有着禁带单色...
      • 一种金属微纳类螺旋结构及其制备方法与流程
        本发明属于金属微纳结构制备领域,具体涉及一种金属微纳类螺旋结构及其制备方法。纳米结构具有独特的特性,如较大的比表面积,提供了广泛的工程应用,如电子、光学、生物、热和流体动力学。它们可以用来缩小许多工程产品的尺寸,因此,迫切需要新的纳米制造技术来满足这一需求。低成本的纳米结构需要一种简单、高...
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